西安工业大学检测中心所购置的Quanta400F热场发射扫描电镜配有低真空探头、能谱探头、背散射电子探头、电子束曝光、热台拉伸机等附件可对生物含水样品、地质材料、陶瓷、等不导电样品以及金属样品的表面形貌、成分进行分析和测试；EBSD系统可用于金属、陶瓷、半导体、超导体、矿石等晶体材料，可以研究热机械处理过程与取向关系有关的性能（成型性、磁性等）及界面性能（腐蚀、裂纹、热裂等）；INCA能谱EBSD一体化系统具有粒度/相分析功能，可进行综合物相分析。

扫描电镜主要技术参数

分辨率

二次电子（SE）成像

高真空模式：30kV时  1.2nm；1kV时  3.0nm

低真空模式：30kV时  1.5nm；3kV时  3.0nm

ESEM^TM环境真空模式：30kV时  1.5nm

背散射电子（BSE）成像

    30kV时  2.5nm

放大倍数

高真空模式：12×～1，000，000×

低真空模式：12×～1，000，000×

加速电压

     200V～30Kv

样品室内径  379mm

能谱（EDS）主要技术参数

能量分辨率（20000CPS）：Mn-Ka≥129eV,C-Ka≥65eV,F-Ka≥70eV，1000CPS～40000CPS时，Mn-Ka谱峰漂移≤1eV，空间分辩达到纳米量级；

元素分析范围：Be⁴～U⁹²；

输出最大计数率≥100，000CPS，输入最大计数率≥300，000CPS

EBSD主要技术参数

EBSD探头

EBSD花样分辨率：640×480，信噪比≥65Db，芯片积分时间：80微秒～15分钟

最大标定速度≥400帧/秒（准确率优于99%），束流≤2nA仍可以高速采集；

在高、低真空和可变真空条件下都可以高速采集。

数据采集系统

可对所有对称性（从三斜到立方的所有7个晶系）的晶体材料的EBSD进行自动标定，空间分辨率≤0.05μm;

EBSD花样自动采集和标定的准确度≥99%，标定速度≥400幅/秒;

使用一个软件平台同步采集EBSD和能谱数据，进行花样标定与相鉴定。

EBSD软件

EBSD面扫描数据分析，包括取向图、极图与反极图、ODF图等，功能包括：花样质量、相界晶界、晶粒尺寸、欧拉角、共格界面等；

具有晶界特征（相界、晶界旋转角、轴角对、共格界面等），离散绘图（极图、反极图、ODF和MDF图、欧拉空间图、强度绘图（花样质量、晶粒尺寸、相和晶体取向）织构分析（计算和绘图）等分析软件。

联系方式：

西安工业大学教一楼材化学院
029-83208219 杨老师
029-83208215 赵老师 金老师

欢迎广大师生及专业工作者前来参观使用